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潔凈室知識(shí)
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潔凈室用的FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元高效過(guò)濾器的DOP檢漏怎么操作
在FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)DOP檢漏時(shí),在FFU高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)必須設(shè)有DOP的導(dǎo)入裝置及濃度檢測(cè)管。FFU這兩個(gè)管子也可以用來(lái)檢測(cè)過(guò)濾器的阻力。
在FFU檢測(cè)中,如果室內(nèi)干擾因素太多,為排除干擾,可在風(fēng)口出口加隔離罩,在罩內(nèi)進(jìn)行檢測(cè),這樣檢測(cè)的數(shù)據(jù)較為準(zhǔn)確。
尤其要注意的是,在過(guò)濾器和安裝框架之間的檢漏,可以沿安裝框架檢漏,也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏,但要排除卷吸氣流的干擾,要避免箱體上的積灰干擾,尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過(guò)濾器的框架。
在有速度的氣流中采樣,采樣速度應(yīng)等于氣流速度,否則采樣濃度將大于或小于真實(shí)濃度,即氣流速度大于采樣速度,采樣濃度將大于真實(shí)濃度,反之,氣流速度小于采樣速度,采樣濃度將小于真實(shí)濃度。
假定FFU高效過(guò)濾器下實(shí)際斷面風(fēng)速為0.45m/s,圓形取樣口直徑Ds的計(jì)算:
V×1/4×πDs =Fa 2
Fa ——儀器采樣量,28.3L/min=472cm3/s
V ——FFU過(guò)濾器面風(fēng)速 0.45 m/s
經(jīng)計(jì)算 Ds=36. 5 mm
實(shí)際上儀器的取樣口直徑為35mm或正方形30×30mm,當(dāng)然取樣口也可以是長(zhǎng)方形的,經(jīng)計(jì)算此時(shí)的采樣速度為0.49~0.52m/s,可以認(rèn)為是等速采樣。
根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織(ISO)關(guān)于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的測(cè)試和測(cè)試方法(ISO14644-3)中公式計(jì)算:Sr≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中:Sr-探管掃描速率cm/s;
Cc-被測(cè)過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠濃度cm-3(50粒子/cm3);
Ps -被測(cè)過(guò)濾器最易穿透粒徑最大允許整體穿透率;
PL -被測(cè)過(guò)濾器的最大允許泄漏;
K -一個(gè)因數(shù),表示PL可能比Ps大多少倍;
Dp -平行于掃描方向的探管尺寸 (cm),本文使用圓形采樣管,直徑35mm;
Fs – 離散粒子計(jì)數(shù)器的標(biāo)準(zhǔn)樣品流量,
Fs=472cm3/s(28.3L/min);
Np -預(yù)期量,表現(xiàn)出泄漏特征的粒子計(jì)數(shù)值;
用下式計(jì)算:
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 個(gè),代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)
每個(gè)測(cè)點(diǎn)實(shí)際獲得時(shí)間 Ts=Dp/Sr=1 s
所以,采樣口的掃描速率是和上游粒子濃度穿透率、K值、采樣口的口徑、采樣流量有著密切的關(guān)系。特別需要指出的是,如采用28.3L/min 的粒子計(jì)數(shù)器和2.83L/min的粒子計(jì)數(shù)器,他們的掃描速率可以相差十倍,也就是講,每檢測(cè)一個(gè)過(guò)濾器的時(shí)間也相差十倍。
規(guī)范要求掃描速率為5~20mm/s(其實(shí)這個(gè)速率是應(yīng)該根據(jù)具體情況可以計(jì)算調(diào)整的,一般建議采用28.3L/min的粒子計(jì)算器,掃描速率在30~ 5mm/s左右)。
規(guī)范第5.4.1條指出“對(duì)于高效過(guò)濾器,應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠合格透過(guò)率的2倍,對(duì)于超高效過(guò)濾器,應(yīng)不大于出廠合格透過(guò)率的3倍?!倍鶕?jù)條文說(shuō)明的第四節(jié)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)則相反,高效過(guò)濾器的透過(guò)率是3倍,而超高效過(guò)濾器的是2倍。從提供的數(shù)據(jù)來(lái)看,應(yīng)該是以條文為準(zhǔn)。
如果上游濃度為3.5×104 粒子 /L,0.5μm的高效過(guò)濾器效率是99.99%,下游濃度為3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計(jì)算器檢測(cè)≤ 10應(yīng)為合格,否則應(yīng)進(jìn)行修復(fù),修補(bǔ)總面積不能超過(guò)過(guò)濾器截面的 5%,每個(gè)修補(bǔ)點(diǎn)修補(bǔ)的最大長(zhǎng)度必須在 40mm以下。
本文用14644-3的檢漏方法及有關(guān)計(jì)算。如上述,Np 是表泄漏特征的粒子數(shù),在Np=11.8 時(shí),可接受觀測(cè)計(jì)數(shù)Ca=7個(gè)。在檢漏中,塵埃粒子讀數(shù)C ≤ Ca時(shí),認(rèn)為掃描區(qū)域無(wú)泄露,可繼續(xù)掃描,否則,要做靜態(tài)測(cè)定。靜態(tài)測(cè)定時(shí),采樣頭在測(cè)點(diǎn)的滯留時(shí)間設(shè)定為10秒鐘,此時(shí)測(cè)得的最大粒子數(shù)為Npa:Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118
這是采樣流量為472cm3/s,采樣時(shí)間為10s時(shí)的讀數(shù)值,大于此數(shù)可判斷為泄漏。
如果系統(tǒng)總風(fēng)量不大,DOP發(fā)塵可直接送入總風(fēng)管。如果DOP發(fā)塵的總量不夠,達(dá)不到預(yù)計(jì)的濃度要求,可將DOP直接發(fā)入高效送風(fēng)口的靜壓箱。需要指出的是,上游的氣溶膠濃度需要檢測(cè)。如果穩(wěn)定后,可對(duì)每個(gè)過(guò)濾器進(jìn)行泄漏檢測(cè)。如果上游的氣溶膠濃度太高,粒子 計(jì)數(shù)器無(wú)法檢測(cè),可通過(guò)稀釋的方法來(lái)進(jìn)行測(cè)量。