風機過濾器單元 FFU使用說明書

請詳細閱讀本說明書，并妥善保存，以備日后維護時參考 ?。
1-1 風機過濾器單元
風機過濾器單元（FFU ）是一種 自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝 置 。
風機從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè) 。
● 使用環(huán)境
?周圍溫度：5℃～40℃
?濕度：低于 85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)
?周圍空氣：一般室內(nèi)空氣
?清凈度：100-10 級
?請避免連續(xù)反復(fù) ON/OFF 操作機體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風機濾網(wǎng)機組，將會影響制品性能，并可能會發(fā)生電氣短路現(xiàn)象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。為能安全且有效地使用風機過濾器單元請參閱第 4 頁的〝重要安全事項〞。

2 1-2 結(jié)構(gòu)及特點

(1) 主要部件

1 2-1 安裝使用環(huán)境
● 風機過濾器單元的安裝應(yīng)遠離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設(shè)置風機過濾器單元場所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災(zāi)。
● 請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品，如果機體吸入這些化學(xué)物品將有可能會導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。
● 請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品，如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會導(dǎo)致機體腐蝕及損壞。
2 2-2 運送與安裝
● 請在風機過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運制品，搬運時務(wù)必保持水平，如果使用輕便推車等工具運送時，請選用車臺超過機體包裝寬度的推車。
● 機體安裝后，機體上方至少須預(yù)留 30 公分以上的空間，以利將來機體維修，未預(yù)留足夠的維修空間，機體將無法進行維修及部件更換。
● 試運轉(zhuǎn)前，請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護膜。
3 2-3 安裝 ? 使用注意事項
● 風機過濾器單元安裝于無塵室時，請務(wù)必遵守下列指示
● 當進入無塵室時
請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。
請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。
請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進入室內(nèi)。
點檢時請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。
● 切勿直接重壓風機過濾器單元機體，以免造成機體變形。
● 請勿以沾濕的手操作機體，以免發(fā)生觸電危險。
● 請勿遮蔽機體吸入口及吹出口，機體吸入口及吹出口被遮蔽，將導(dǎo)致機體性能無法正常發(fā)揮，造成機體功能異?；螂姎獠考p壞。
● 實施第三種接地工事，以避免電擊產(chǎn)生之危險。
. 2. 重要安全事項
3-1 1 1 1 運轉(zhuǎn)前檢查事項
運轉(zhuǎn)前請先檢查下列注意事項：
● 機體外部電源是否連接，電源供應(yīng)是否妥當。
● 機體接地工事是否已實施。
● 機體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護膜是否已取下。
3-2 2 2 2 運轉(zhuǎn)時注意事項
(1) 開始運轉(zhuǎn)
● 當電源開啟后，機體即開始運轉(zhuǎn)。
● 機體運轉(zhuǎn)后請確認是否有異?，F(xiàn)象。
當有下列情形發(fā)生，機體無法正常運轉(zhuǎn)時，請向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。
● 機體內(nèi)部有異物，機體離心風扇無法正常旋轉(zhuǎn)。
● 機體內(nèi)部電線脫落，接頭松脫。
● 機體內(nèi)部電氣部件，如過電源插頭、馬達損壞。
(2) 停止運轉(zhuǎn)
● 運轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，請即切斷電源，停止機體運轉(zhuǎn)。

4. 維修 ? 點檢
● 自購買日起進行定期檢查，請勿自行檢查，以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。
● 除了維修人員外，請勿自行拆解、修理或變更規(guī)格，以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。
● 當更換濾網(wǎng)等部件時，請注意不要損壞濾紙。
● 維修?點檢時，請務(wù)必先切斷電源，停止機器運轉(zhuǎn)后再實施，以免發(fā)生觸電或傷害危險。
● 當安裝?維修?點檢完成后，在機體起動前，請確定機體基礎(chǔ)穩(wěn)固。
4-1 日常維護
每天工作開始之前請依表 2.點檢下列各項，當發(fā)現(xiàn)有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。

4-2 定期維護
使用風機過濾器單元一段時間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風機過濾器單元的正常運轉(zhuǎn)，請務(wù)必實施下列定期點檢。
4-2.1 定期維護
(1)定期維護項目請依表 3.所示，對風機過濾器單元實施定期點檢，當部件壽命已至?xí)r，請立即進行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄 漏 (腐蝕氣體…..等) 意外發(fā)生，
停機再啟動后，請務(wù)必實施相同的檢查。

3. 定期維護項目

表 4 ?消耗性部件的更換期間 ( 我司建議 )

4.2.2 點檢完成
點檢完成后，清潔工作場所及確認風機過濾器單元在正常運轉(zhuǎn)狀況；保留點檢報 告 ,當部件更換或機體更新時作為參考。
3 4-3 故障排除
?若有以下現(xiàn)象發(fā)生，連絡(luò)本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細) ，然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。

● 非服務(wù)技術(shù)人員請勿拆解、修理或修改風機過濾器單元，以避免造成嚴重的意外，例如觸電或火災(zāi)。

● 當需要更換服務(wù)備品時，請務(wù)必依本說明書中表 1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。
● 任何未經(jīng)認可之代用品，不僅可能會影響風機過濾器單元的性能，同時可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險。